單晶硅晶圓全自動測量方案

單晶硅晶圓全自動測量方案，主要由三坐標測量機、上下料庫位，機器人及抓手，自動夾具，讀碼槍，自動測量控制系統等組成，實現晶圓的自動上下料，自動測量，數據自動保存及判定等功能。

應用方向

單晶硅晶圓的全自動測量，以及類似圓盤薄片零件的測量需求

技術優勢

? 除人工送檢外，其余動作均自動完成，可實現自動上下料、自動吸附、自動檢測、給出檢測結果便于機器人分揀下料；

? 機器人抓手及自動夾具均采用特殊材質，避免對工件表面的二次污染；

? 機器人抓手及自動夾具可兼容多種單晶硅片，工件換型時，只需提前配置測量程序即可；

用戶收益

? 節省人力成本：全自動檢測方案，無需操作人員

? 效率提升：全自動上下料、檢測方案，正反面一次測量完成，提高系統檢測效率 100% 以上

? 提高設備利用率：全自動檢測滿足 24 小時生產，提高設備利用率至 95% 以上

? 數字化：檢測完畢，自動關聯工件身份信息存儲測量報告；并實時將檢測數據傳遞至客戶數據庫，提高數字化和追溯性