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?？怂箍祮尉Ч杈A全自動測量方案，主要由三坐標測量機、上下料庫位，機器人及抓手，自動夾具，讀碼槍，自動測量控制系統等組成，實現晶圓的自動上下料，自動測量，數據自動保存及判定等功能。
主要應用在單晶硅晶圓的全自動測量，以及類似圓盤薄片零件的測量需求。
?？怂箍抵圃熘悄馨鏅嗨?，并保留在未經事先通知的情況下更改信息的權利。
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